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73 Beziehungen: Abbildungstiefe, AMD Athlon II, AMD Fusion, Auflösungsvermögen, Ausbeute (Halbleitertechnik), Brechung (Physik), Brechungsindex, Canon, Carbonsäuren, Carl Zeiss (Unternehmen), Computer, Cycloalkane, Dispersion (Physik), Doppelbrechung, EE Times, Elektronenstrahllithografie, EUV-Lithografie, Excimerlaser, Flash-Speicher, Fluor, Fotolack, Fotolithografie (Halbleitertechnik), Fotomaske, Globalfoundries, Hammer, Helium-Cadmium-Laser, Heraeus (Unternehmen), IBM, Immersion (Mikroskopie), Integrierter Schaltkreis, Intel, Intel-Core-i-Serie, International Technology Roadmap for Semiconductors, Kryptonfluorid, Linse (Optik), Lutetium-Aluminium-Granat, Mehrfachstrukturierung, Mikroelektronik, Mikroskop, Nd:YAG-Laser, Nikon, Numerische Apertur, Optical proximity correction, Optische Abbildung, Ortsfrequenz, Pellikel (Fotolithografie), Perfluorpolyether, Phenol, Photoinitiator, Polarisation, ..., Prozessor, Quarz, Quecksilberdampflampe, Röntgenlithografie, Schrägbeleuchtung, Siliciumdioxid, Skalierung (Mikroelektronik), Smartphone, Solvatisiertes Elektron, Strukturgröße, System-on-a-Chip, Technologieknoten, Texas Instruments, Topografie (Messtechnik), Torluftschleier, Toshiba, United Microelectronics Corporation, Wafer, Wasser, Wärmekapazität, Wärmeleitfähigkeit, Wellenlänge, Zirconium(IV)-oxid. Erweitern Sie Index (23 mehr) »
Abbildungstiefe
Die Abbildungstiefe (im englischen depth of focus, DOF) ist derjenige Bereich im Bildraum eines abbildenden optischen Systems, in dem ein hinreichend scharfes Bild eines fokussierten Objektes entsteht.
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AMD Athlon II
Der AMD Athlon II von AMD ist ein Mehrkernprozessor für Desktop-Computer und ein Vertreter der K10- bzw.
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AMD Fusion
AMD Fusion ist der Code- und Markenname eines Prozessorkonzepts, das CPU und GPU sowie Video- und andere Hardwarebeschleuniger auf einem Die vereinigt.
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Auflösungsvermögen
Der Begriff Auflösungsvermögen bezeichnet in der Optik die Unterscheidbarkeit feiner Strukturen, also zum Beispiel den minimalen Abstand, den zwei punktförmige Objekte haben müssen, um sie als getrennte Objekte wahrnehmen zu können.
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Ausbeute (Halbleitertechnik)
Die Ausbeute bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (ICs) dient als Maßzahl zur Bewertung des Produktionsprozesses bzw.
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Brechung (Physik)
Brechung an einem Wasserglas. Durch seine Form wirkt das Glas wie eine Zylinderlinse und erzeugt ein seitenverkehrtes Bild. Die Brechung, auch Refraktion, ist die Änderung der Ausbreitungsrichtung einer Welle durch eine räumliche Änderung des Brechungsindex des Mediums, das die Welle durchläuft.
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Brechungsindex
Von einem Punkt ausgehende Wellenfronten. Im unteren Medium breiten sich die Wellenfronten langsamer aus. Das ändert den Normalen­vektor der Wellenfront, was einer Brechung eines Lichtstrahls entspricht. Der Brechungsindex, auch Brechzahl oder optische Dichte, seltener refraktiver Index, früher auch Brechungszahl genannt, ist eine optische Materialeigenschaft.
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Canon
Unternehmenszentrale in Tokio Canon (japanisch キヤノン株式会社, Kiyanon kabushiki-gaisha) ist ein japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das 1937 gegründet wurde.
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Carbonsäuren
Carbonsäuren, auch Karbonsäuren, sind organische Verbindungen, die eine oder mehrere Carboxygruppen (–COOH) tragen und damit einen mehr oder weniger ausgeprägten aciden Charakter haben.
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Carl Zeiss (Unternehmen)
Die Carl Zeiss AG ist ein Unternehmen der feinmechanisch-optischen Industrie.
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Computer
Ein Computer (englisch; deutsche Aussprache) oder Rechner ist ein Gerät, das mittels programmierbarer Rechenvorschriften Daten verarbeitet.
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Cycloalkane
Die Cycloalkane (Cyclane, ältere Bezeichnung: Naphthene, Cycloparaffine) sind eine Stoffgruppe von ringförmigen, gesättigten Kohlenwasserstoffen.
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Dispersion (Physik)
Dispersion im Prisma erzeugt ein Farbspektrum Unter Dispersion (von, „ausbreiten, zerstreuen“) versteht man in der Physik die Abhängigkeit einer physikalischen Größe von der Frequenz einer Welle.
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Doppelbrechung
Doppelbrechung beim Calcit Doppelbrechung an einem Kalkspat-Kristall: ordentlicher und außerordentlicher Strahl sind durch rote Fluoreszenz im Kristall sichtbar Die Doppelbrechung oder Birefringenz ist die Fähigkeit optisch anisotroper Medien, ein Lichtbündel in zwei senkrecht zueinander polarisierte Teilbündel zu trennen (ordentlicher und außerordentlicher Strahl).
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EE Times
EE Times ist eine amerikanische Online-Publikation für die Elektronik- und Mikroelektronikindustrie.
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Elektronenstrahllithografie
Die Elektronenstrahllithografie (ESL, oft als e-beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro- und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl-empfindlichen Schicht (engl. resist, in Analogie zur Fotolithografie auch Fotolack genannt).
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EUV-Lithografie
EUV-Lithografie (auch kurz EUVL) ist ein Fotolithografie-Verfahren, das elektromagnetische Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 nm (91,82 eV) nutzt, sogenannte extrem ultraviolette Strahlung (EUV).
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Excimerlaser
Excimerlaser sind Gaslaser, die elektromagnetische Strahlung im ultravioletten Wellenlängenbereich erzeugen können.
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Flash-Speicher
Flash-Speicher sind digitale Speicherbausteine für eine nichtflüchtige Speicherung ohne Erhaltungs-Energieverbrauch.
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Fluor
Fluor ist ein chemisches Element mit dem Symbol F und der Ordnungszahl 9.
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Fotolack
Fotolacke werden bei der fotolithografischen Strukturierung verwendet, insbesondere in der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik für die Produktion von Strukturen im Mikro- und Submikrometerbereich sowie bei der Leiterplattenherstellung.
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Fotolithografie (Halbleitertechnik)
Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten.
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Fotomaske
Eine Fotomaske Eine Fotomaske in einer Fotomaskenbox Detail einer Chrom-Fotomaske Fotomasken (deshalb im Deutschen auch als Retikel bezeichnet) sind Projektionsvorlagen, deren Hauptanwendung die fotolithografische Strukturierung bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen oder Mikrosystemen ist.
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Globalfoundries
Globalfoundries-Chipfabrik (Fab 1) in Dresden Die Globalfoundries Inc., verkürzt GF, ist ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller, der ausschließlich Auftragsfertigung betreibt, eine sogenannte Foundry.
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Hammer
Schlosserhammer mit Bahn und Finne Ein Hammer ist ein händisch oder maschinell angetriebenes Werkzeug, das unter Nutzung seiner beschleunigten Masse (meist) schwere Schläge auf Körper ausübt.
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Helium-Cadmium-Laser
Die Helium-Cadmium-Laser sind Metalldampf-Gaslaser für den blauen und nahen UV-Spektralbereich.
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Heraeus (Unternehmen)
Heraeus ist ein deutscher Technologiekonzern, der weltweit tätig ist, unter anderem in der Herstellung und Verarbeitung von Edelmetallen und Quarzglas oder in der Entwicklung von Sensoren und elektronischen Komponenten tätig.
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IBM
Die International Business Machines Corporation (IBM) ist ein börsennotiertes US-amerikanisches IT- und Beratungsunternehmen mit Sitz in Armonk im Bundesstaat New York.
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Immersion (Mikroskopie)
Immersionsobjektiv im Einsatz Immersion (‚Eintauchen‘, ‚Einbetten‘) bezeichnet in der Lichtmikroskopie ein Verfahren, bei dem zwischen das Objektiv und das Präparat eine Immersionsflüssigkeit (Einbettungsflüssigkeit) eingebracht wird, typischerweise Immersionsöl, Wasser oder Glycerin.
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Integrierter Schaltkreis
Funktionseinheiten wie Rechenwerk und Cache des Prozessors zu erkennen. Aktuelle Prozessor-Chips umfassen bei ähnlichen Abmessungen mittlerweile etwa 4000 Mal so viele Transistoren. Ein integrierter Schaltkreis, auch integrierte Schaltung (kurz IC; die Buchstaben werden einzeln gesprochen: bzw. veraltet IS) ist eine auf einem dünnen, meist einige Millimeter großen Plättchen aus Halbleiter-Material aufgebrachte elektronische Schaltung.
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Intel
Hauptsitz von Intel (2023) Intel Corporation (von, deutsch integrierte Elektronik; NASDAQ-Küzel INTC) ist ein US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Hauptsitz im kalifornischen Santa Clara (Silicon Valley).
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Intel-Core-i-Serie
Die Core-i-Mikroprozessor-Familie ist eine x86-Mikroprozessor-Familie des Unternehmens Intel für typische Anwendungsbereiche wie für die Nutzung im Büro, in der Freizeit oder für Multimedia und Spiele.
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International Technology Roadmap for Semiconductors
Die International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) war eine Prognose (Roadmap) über die zukünftige Entwicklung der Halbleitertechnik, die als roter Faden für Chip- und Gerätehersteller galt.
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Kryptonfluorid
Kryptonfluorid ist der Name mehrerer chemischer Verbindungen von Krypton und Fluor.
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Linse (Optik)
Einfache bikonvexe Linse (Sammellinse). Der äußere Rand der Linse ist matt geschliffen. Als Linsen bezeichnet man in der Optik transparente Scheiben, von deren zwei Oberflächen wenigstens eine – meistens ''sphärisch'' – gekrümmt ist.
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Lutetium-Aluminium-Granat
Lutetium-Aluminium-Granat (kurz LuAG) ist eine künstlich hergestellte kristalline Verbindung mit der chemischen Zusammensetzung Lu3Al5O12.
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Mehrfachstrukturierung
Unter Mehrfachstrukturierung werden in der Halbleitertechnik verschiedene Strukturierungsverfahren für die Herstellung sehr dichter und feiner Strukturen zusammengefasst.
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Mikroelektronik
Die Mikroelektronik ist ein Teilgebiet der Elektronik, genauer der Halbleiterelektronik, und der Mikrotechnik.
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Mikroskop
Leitz von 1909, ein für die Zeit typisches Labormikroskop. Ein Transmissionselektronenmikroskop. Nadelspitze eines Rasterkraftmikroskops, aufgenommen mit einem Rasterelektronenmikroskop. Ein Mikroskop (von griechisch μικρός mikrós „klein“; σκοπεῖν skopeín „betrachten“) ist ein Gerät, das es erlaubt, Objekte stark vergrößert anzusehen oder bildlich darzustellen.
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Nd:YAG-Laser
Ein Nd:YAG-Laser (kurz für Neodym-dotierter Yttrium-Aluminium-Granat-Laser; sprich: Neodym-YAG-Laser) ist ein Festkörperlaser, der als aktives Medium einen Neodym-dotierten YAG-Kristall verwendet und meist infrarote Strahlung mit der Wellenlänge 1064 nm emittiert.
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Nikon
Das Unternehmen Nikon Corporation (jap. 株式会社ニコン, Kabushiki-gaisha Nikon) ist ein japanischer Hersteller von Fotoapparaten, Objektiven und anderen optischen Geräten wie Mikroskopen, Ferngläsern und Steppern.
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Numerische Apertur
Mikroskopobjektiv mit eingravierten Werten für die Vergrößerung (10x) und die numerische Apertur (0,25). Die numerische Apertur (Formelzeichen A_\text, NA oder n.A.; abgeleitet von numerisch und Apertur, etwa: Zahlenwert der Öffnungsweite) ist eine Größe der Dimension Zahl bei optischen Systemen wie Teleskopen, Lichtmikroskopen oder Lichtwellenleitern.
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Optical proximity correction
Abbildungsfehler ohne OPC und Verbesserung mit OPC-Strukturen in der Fotomaske (Schema) Optical proximity correction (OPC, englisch, deutsch etwa: optische Nahbereichskorrektur) ist in der Halbleitertechnik ein Verfahren zur Korrektur bzw.
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Optische Abbildung
Die optische Abbildung ist in der Optik die Erzeugung eines Bildpunkts von einem Gegenstandspunkt durch Vereinigung von Licht, das vom Gegenstandspunkt ausgeht, mittels eines optischen Systems.
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Ortsfrequenz
Frequenzbesen mit von links nach rechts zunehmender vertikaler Ortsfrequenz Die Ortsfrequenz (auch Raumfrequenz, Formelzeichen f_r oder R) ist der Kehrwert der räumlichen Periodenlänge.
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Pellikel (Fotolithografie)
Ein Pellikel ist im Bereich der Halbleitertechnik eine transparente Membran für Fotomasken zum Schutz gegen Verschmutzung.
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Perfluorpolyether
Perfluorpolyether (PFPE) sind eine Gruppe von bei Raumtemperatur üblicherweise flüssigen bis pastösen Kunststoffen, die zu den Fluorpolymeren zählen, welche aus Fluor, Kohlenstoff und Sauerstoff bestehen.
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Phenol
Phenol oder Hydroxybenzol (veraltet auch Karbolsäure, älter Carbolsäure, oder kurz Karbol oder Carbol) ist eine aromatische, organische Verbindung und besteht aus einer Phenylgruppe (–C6H5), an die eine Hydroxygruppe (–OH) gebunden ist.
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Photoinitiator
Photoinitiatoren sind chemische Verbindungen, die nach Absorption von (UV-) Licht in einer Photolysereaktion zerfallen und so reaktive Spezies bilden, die eine Reaktion starten (initiieren) können (meist eine Polymerisation).
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Polarisation
stehenden Welle auf einem Gummifaden. Im Vordergrund wird das Ende des Fadens durch das Futter einer Bohrmaschine im Kreis geführt. Dadurch entsteht eine zirkuläre Schwingung. Zwei parallele Metallstangen erlauben eine freie Bewegung des Gummis in waagerechter, nicht aber in senkrechter Richtung. Dadurch schwingt das Gummi hinter den Stangen nur noch in einer Ebene. Dies entspricht linearer Polarisation. Die Polarisation einer Transversalwelle beschreibt die Richtung ihrer Schwingung.
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Prozessor
Die''“ eines Intel 80486DX2 Ein Computer-Prozessor ist ein (meist stark verkleinertes und meist frei) programmierbares Rechenwerk, also eine elektronische Schaltung, die gemäß übergebenen Befehlen Aktionen ausführt, wie andere elektronische Schaltungen und Mechanismen zu steuern.
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Quarz
Quarz, auch Tiefquarz oder α-Quarz genannt, ist ein Mineral mit der chemischen Zusammensetzung SiO2 und trigonaler Symmetrie.
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Quecksilberdampflampe
Quecksilberdampf-Hochdrucklampe, Ausführung mit leuchtstoffbeschichtetem äußerem Glaskolben, Leistung 1 kW Eine Quecksilberdampflampe ist eine Gasentladungslampe mit Quecksilberdampffüllung.
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Röntgenlithografie
Die Röntgenlithografie (XRL) ist ein Strukturierungsverfahren aus der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik.
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Schrägbeleuchtung
Schrägbeleuchtung – seltener Schrägbelichtung oder außeraxiale Belichtung genannt – bezeichnet in der Halbleitertechnik ein fortgeschrittenes Belichtungsverfahren bei der fotolithografischen Strukturierung.
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Siliciumdioxid
Siliciumdioxid (häufig auch Siliziumdioxid) ist ein Oxid des Siliciums mit der Summenformel SiO2.
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Skalierung (Mikroelektronik)
Der Begriff Skalierung (bzw. downscaling) beschreibt im Bereich der Mikroelektronik und Nanoelektronik die Verkleinerung der geometrischen Abmessungen von Bauelementen (in der Regel MOSFETs) und der damit verbundenen Änderung weiterer relevanter Bauelementparameter (siehe Integrationsdichte und Technologieknoten).
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Smartphone
mobilen Version Smartphone (AE, BE; englisch, etwa „schlaues Telefon“) nennt man ein Mobiltelefon (umgangssprachlich Handy) mit umfangreichen Computer-Funktionen.
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Solvatisiertes Elektron
Natrium in flüssigem Ammoniak Als solvatisiertes Elektron e^_\text wird ein Elektron bezeichnet, das sich in einem Lösungsmittel in Lösung befindet, insbesondere also nicht an ein Atom oder Molekül gebunden ist.
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Strukturgröße
Technologiequerschnitt eines Feld­effekt­transistors mit isoliertem Gate (IGFET) (hier: n-Kanal-MOSFET) Die Strukturgröße oder auch Strukturbreite ist eine Größenangabe der Halbleitertechnik, Mikroelektronik und Nanoelektronik.
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System-on-a-Chip
abruf.
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Technologieknoten
Der Begriff Technologieknoten bezeichnet in der Halbleitertechnik einen Meilenstein für die Definition einer Herstellungsprozessgeneration und bezieht sich im Wesentlichen auf die kleinste fotolithografisch herstellbare Strukturgröße.
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Texas Instruments
Die Texas Instruments Incorporated, häufig auch als TI bezeichnet, ist eines der größten US-amerikanischen Technologieunternehmen mit Sitz in Dallas, Texas.
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Topografie (Messtechnik)
Der Begriff Topografie (von, und de bzw. ‚beschreiben‘; wörtlich ‚Ortsbeschreibung‘) – auch Oberflächenbeschaffenheit – bezeichnet im Bereich der Messtechnik die Beschreibung sowohl der geometrischen Gestalt als auch der physikalischen und chemischen Eigenschaften von technischen Oberflächen oder Mikrostrukturen.
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Torluftschleier
Ein offener Eingang ohne Luftschleieranlage. Durch natürliche Konvektion strömt Außenluft im unteren Bereich ein und Raumluft im oberen Bereich aus. Zusätzlich aus dem Gebäude abgeführte Abluft ''(kleine rote Pfeile)'' bewirkt den Zustrom weiterer Außenluft, die hier mit ''Ventilation'' gekennzeichnet ist. Luftschleieranlage in einem Verwaltungsgebäude Ein Torluftschleier ist eine Anlage, die an häufig geöffneten Türen und Toren mittels Gebläse Luftmassen durch eine Barriere aus strömender Luft voneinander trennt und so deren Austausch verhindert.
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Toshiba
Die Toshiba Corporation ist ein internationaler Technologiekonzern mit Hauptsitz in der japanischen Hauptstadt Tokio.
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United Microelectronics Corporation
Die United Microelectronics Corporation (UMC), notiert an der Börse New York: UMC, und Börse Taipeh (Nr. 2303) wurde am 22.
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Wafer
Wafer von 2 Zoll bis 8 Zoll Als Wafer (für „dünner Keks“ oder „dünne Brotscheibe“) werden in der Mikroelektronik, Photovoltaik und Mikrosystemtechnik kreisrunde oder quadratische, etwa ein Millimeter dicke Scheiben bezeichnet.
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Wasser
--> | Standardbildungsenthalpie.
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Wärmekapazität
Die Wärmekapazität C eines Körpers ist das Verhältnis der ihm zugeführten Wärme Q zu der damit bewirkten Temperaturerhöhung (\Delta T): Die Einheit der Wärmekapazität ist J/K.
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Wärmeleitfähigkeit
Die Wärmeleitfähigkeit, auch Wärmeleitzahl oder Wärmeleitkoeffizient, ist eine Stoffeigenschaft, die den Wärmestrom durch ein Material auf Grund der Wärmeleitung bestimmt.
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Wellenlänge
Phase (das sind Punkte mit gleicher Auslenkung und gleicher Steigung). Die Wellenlänge \lambda (griechisch: Lambda) einer periodischen Welle ist der kleinste Abstand zweier Punkte gleicher Phase.
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Zirconium(IV)-oxid
BaddeleyitKugeln aus ZrO2-Keramik zur Verwendung in Kugellagern Zirconium(IV)-oxid (ZrO2), Zirconiumdioxid (ältere Namen sind Zirkonsäure oder Zirkonerde), ist nach Zirkon die in der Natur häufigste Verbindung des Elementes Zirconium.
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