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Fotolack

Index Fotolack

Fotolacke werden bei der fotolithografischen Strukturierung verwendet, insbesondere in der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik für die Produktion von Strukturen im Mikro- und Submikrometerbereich sowie bei der Leiterplattenherstellung.

32 Beziehungen: Aceton, Ätzen, Chemie in unserer Zeit, Chrom, Cyclopentanon, Diazoverbindungen, Dotierung, Entwicklerflüssigkeit, Epoxidharz, Fotofolie, Fotolithografie (Halbleitertechnik), Halbleitertechnik, Hybridorbital, Γ-Butyrolacton, Löslichkeit, Leiterplatte, Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Mikrowellen, N-Methyl-2-pyrrolidon, Natronlauge, Novolak, Photochemie, Plasmaveraschung, Polymer, Polymerisation, Polymethylmethacrylat, Quarzglas, Rotationsbeschichtung, Sauerstoff, SU-8 (Fotolack), Ultraviolettstrahlung.

Aceton

Aceton oder Azeton ist der Trivialname für die organisch-chemische Verbindung Propanon bzw.

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Ätzen

Ätzen (von mittelhochdeutsch etzen) bezeichnet die Abtragung von Material in Form von Vertiefungen auf der Oberfläche organischer oder anorganischer Materialien durch Anwendung ätzender Stoffe.

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Chemie in unserer Zeit

Die Chemie in unserer Zeit, auch kurz ChiuZ genannt, ist eine Chemie-Zeitschrift, die sich vor allem an Nicht-Fachleute, aber auch an Chemielehrkräfte richtet.

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Chrom

Chrom ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Cr und der Ordnungszahl 24.

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Cyclopentanon

Cyclopentanon ist ein von Cyclopentan abgeleitetes, cyclisches Keton (Cycloalkanon).

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Diazoverbindungen

Mesomere Grenzstrukturen von Diazoverbindungen. Die Diazo-Gruppe ist '''blau''' markiert; R steht für ein Wasserstoffatom oder für eine Organylgruppe. Diazoverbindungen sind eine Stoffgruppe organisch-chemischer Verbindungen mit der allgemeinen Strukturformel R1R2C.

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Dotierung

Eine Dotierung oder das Dotieren (von ‚ausstatten‘) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder in das Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises.

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Entwicklerflüssigkeit

Die Entwicklerflüssigkeit (auch Entwickler genannt) hat in der Analogfotografie die Aufgabe, die latenten Bilder eines belichteten Filmes sichtbar zu machen (siehe auch Fotoemulsion).

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Epoxidharz

Glasfasermatten verstärkt). Anwendung eines Epoxidharzes als Bindemittel in einem Steinteppich Als Epoxidharz oder abgekürzt EP-Harz bezeichnet man Kunstharze, die Epoxidgruppen tragen.

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Fotofolie

Als Fotofolie (Trockenfilmresist) bezeichnet man einen Fotoresist, den man in fester Form auf das Substrat aufbringt.

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Fotolithografie (Halbleitertechnik)

Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten.

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Halbleitertechnik

Integrierter Schaltkreis (IC). Das Chip-Gehäuse wurde geöffnet und ermöglicht den Blick auf den eigentlichen Halbleiter. Die erkennbaren Strukturen im Zentrum sind die realisierte elektronische Schaltung. Im Außenbereich sind die goldenen Anschlussleitungen zu erkennen, die die elektrische Verdrahtung zwischen IC und Gehäusekontakten bilden. Die Halbleitertechnik (HLT) ist ein technischer Fachbereich, der sich mit Entwurf und Fertigung von Produkten auf der Basis von Halbleitermaterialien, vor allem mit denen für mikroelektronische Baugruppen, beispielsweise integrierte Schaltungen, beschäftigt.

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Hybridorbital

Vier sp3-Orbitale richten sich tetraedrisch aus. Die vom Mittelpunkt aus gemessenen Winkel sind gleich. Ein Hybridorbital ist ein Orbital, das rechnerisch aus einer Linearkombination der Wellenfunktionen der grundlegenden Atomorbitale entsteht.

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Γ-Butyrolacton

γ-Butyrolacton (nach IUPAC-Nomenklatur: Oxolan-2-on, abgekürzt oft auch als GBL bezeichnet) ist eine organisch-chemische Verbindung aus der Stoffgruppe der Lactone, genauer gesagt ist es das Lacton der γ-Hydroxybuttersäure (GHB).

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Löslichkeit

Auflösen von Salz als Beispiel für eine lösliche Verbindung. Die Löslichkeit eines Stoffes gibt an, in welchem Umfang ein Reinstoff in einem Lösungsmittel gelöst werden kann, bis Sättigung eintritt.

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Leiterplatte

Bestückungsseite (oben) und Lötseite (unten) einer einseitigen Leiterplatte Eine Leiterplatte (Leiterkarte, Platine oder gedruckte Schaltung;, PCB) ist ein Träger für elektronische Bauteile.

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Mikroelektronik

Die Mikroelektronik ist ein Teilgebiet der Elektronik, genauer der Halbleiterelektronik, und der Mikrotechnik.

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Mikrosystemtechnik

Mikroheizung Die Mikrosystemtechnik (MST), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Lehre, Forschung & Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen.

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Mikrowellen

Mikrowellen ist ein Trivialname für elektromagnetische Wellen mit einer Frequenz von 1 bis 300 GHz, was einer Wellenlänge von ca.

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N-Methyl-2-pyrrolidon

N-Methyl-2-pyrrolidon (NMP) ist eine chemische Verbindung.

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Natronlauge

Natronlauge ist die Bezeichnung für alkalische Lösungen von Natriumhydroxid (NaOH) in Wasser.

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Novolak

Novolake (fälschlicherweise oft Novolacke) sind Phenolharze mit einem Formaldehyd-Phenol-Verhältnis kleiner als 1:1, die durch saure Kondensation der Edukte erhalten werden.

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Photochemie

Licht als Teil des elektromagnetischen Spektrums Unter dem Begriff Photochemie versteht man chemische Reaktionen, die durch Einwirkung von Licht initiiert werden.

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Plasmaveraschung

Plasmaveraschung (auch Kalt-Plasma-Veraschung) bezeichnet in der Halbleitertechnik einen Prozess zur Entfernung von organischen Schichten und Verunreinigungen durch die chemische Reaktion mit einem Plasma aus reaktiven Materialien, wie Sauerstoff oder Fluor.

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Polymer

Ein Polymer (von, polý ‚viel‘ und μέρος, méros ‚Teil‘) ist ein chemischer Stoff, der aus Makromolekülen besteht.

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Polymerisation

Polymerisation (auch Polymerbildungsreaktion, nach IUPAC Polymerization genannt) ist eine allgemeine Sammelbezeichnung für Synthesereaktionen, die gleichartige oder unterschiedliche Monomere in Polymere überführen.

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Polymethylmethacrylat

Polymethylmethacrylat (Kurzzeichen PMMA, auch Acrylglas) ist ein transparenter thermoplastischer Kunststoff.

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Quarzglas

Quarzglas, auch als Kieselglas bezeichnet, ist ein Glas, das im Gegensatz zu den gebräuchlichen Gläsern keine Beimengungen von Natriumcarbonat oder Calciumoxid enthält, d. h.

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Rotationsbeschichtung

Schema der Rotationsbeschichtung Die Rotationsbeschichtung (engl. spin coating, auch spin-on) ist in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik ein Verfahren zum Auftragen dünner und gleichmäßiger Schichten bzw.

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Sauerstoff

Sauerstoff (historisch auch Oxygenium, kurz Oxygen, genannt; gebildet aus „scharf, spitz, sauer“ und -gen, zusammen „Säureerzeuger, Säurebildner“) ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol O.

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SU-8 (Fotolack)

Struktur SU-8 ist ein Fotolack der Firma Microchem Corp.

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Ultraviolettstrahlung

Ultraviolettstrahlung, kurz UV, UV-Strahlung, UV-Licht oder Schwarzlicht, ist elektromagnetische Strahlung im optischen Frequenzbereich (Licht) mit kürzeren Wellenlängen als das für den Menschen sichtbare Licht.

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Leitet hier um:

Fotoresist, Negativresist, Photolack, Photoresist, Positivresist, Resist.

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