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Hillock

Index Hillock

Ein Hillock (engl., dt. ‚Hügel‘) bezeichnet in der Halbleitertechnik eine Materialanhäufung oder stachelartige Materialvorsprünge von Metall-Leitungsbahnen.

Inhaltsverzeichnis

  1. 20 Beziehungen: Aluminium, Ausdehnungskoeffizient, Chemisch-mechanisches Polieren, Chemische Gasphasenabscheidung, Damascene-Prozess, Dielektrikum, Diffusion, Dual-Damascene-Prozess, Durchschlagfestigkeit, Elektrischer Kurzschluss, Elektromigration, Extrusion, Halbleitertechnik, Kupfer, Leerstelle, Leitungsbahn, Schmelzpunkt, Silicium, Siliciumdioxid, Thermische Spannung (Mechanik).

Aluminium

Aluminium ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Al und der Ordnungszahl 13.

Sehen Hillock und Aluminium

Ausdehnungskoeffizient

Der Ausdehnungskoeffizient ist ein Kennwert, der das Verhalten eines Stoffes bezüglich Veränderungen seiner Abmessungen bei Temperaturveränderungen beschreibt – deswegen oft auch thermischer Ausdehnungskoeffizient genannt.

Sehen Hillock und Ausdehnungskoeffizient

Chemisch-mechanisches Polieren

Chemisch-mechanisches Polieren, auch chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP, engl: chemical mechanical polishing, auch chemical mechanical planarization) ist ein Polierverfahren in der Waferbearbeitung um dünne Schichten gleichmäßig abzutragen.

Sehen Hillock und Chemisch-mechanisches Polieren

Chemische Gasphasenabscheidung

Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung (CVD), selten auch chemische Dampfphasenabscheidung, versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren bzw.

Sehen Hillock und Chemische Gasphasenabscheidung

Damascene-Prozess

Der Damascene-Prozess ist, wie seine Weiterentwicklung, der Dual-Damascene-Prozess, ein Fertigungsprozess aus der Halbleitertechnik.

Sehen Hillock und Damascene-Prozess

Dielektrikum

Als Dielektrikum (Mehrzahl: Dielektrika) wird eine elektrisch schwach- oder nichtleitende Substanz bezeichnet, in der die vorhandenen Ladungsträger nicht frei beweglich sind.

Sehen Hillock und Dielektrikum

Diffusion

Modellhafte Darstellung der Durchmischung zweier Stoffe durch Diffusion Diffusion (lateinisch diffusio, von „ausgießen“, „verstreuen“, „ausbreiten“) ist der ohne äußere Einwirkung eintretende Ausgleich von Konzentrationsunterschieden in Stoffgemischen als natürlich ablaufender physikalischer Prozess aufgrund der Eigenbewegung der beteiligten Teilchen.

Sehen Hillock und Diffusion

Dual-Damascene-Prozess

Der Dual-Damascene-Prozess bezeichnet in der Halbleitertechnik eine Gruppe von Prozessfolgen zur gemeinsamen („dual“) Fertigung von Leiterbahnebenen und vertikalen Zwischenverbindungen (sogenannten Vias).

Sehen Hillock und Dual-Damascene-Prozess

Durchschlagfestigkeit

Die Durchschlagfestigkeit (auch Durchschlag- / Durchbruchfeldstärke, (di)elektrische Festigkeit) eines (dielektrischen) Isolierstoffes mit definierter Dicke ist diejenige elektrische Feldstärke, welche in ihm höchstens herrschen darf, ohne dass es zu einem Spannungsdurchschlag (Lichtbogen oder Funkenschlag) kommt.

Sehen Hillock und Durchschlagfestigkeit

Elektrischer Kurzschluss

Ein elektrischer Kurzschluss ist eine nahezu widerstandslose Verbindung der beiden Pole einer elektrischen Spannungsquelle, oder allgemeiner zweier Schaltungspunkte mit normalerweise verschiedenem Potential, durch die die Spannung zwischen diesen Teilen auf einen Wert nahe null fällt.

Sehen Hillock und Elektrischer Kurzschluss

Elektromigration

Unter Elektromigration (EM) versteht man einen Materialtransport durch allmähliche Bewegung von Ionen in einem festen Leiter, der durch den elektrischen Strom verursacht wird.

Sehen Hillock und Elektromigration

Extrusion

Extrusion (Verb: extrudieren; von extrudere ‚hinausstoßen‘, ‚hinausdrängen‘) steht für.

Sehen Hillock und Extrusion

Halbleitertechnik

Integrierter Schaltkreis (IC). Das Chip-Gehäuse wurde geöffnet und ermöglicht den Blick auf den eigentlichen Halbleiter. Die erkennbaren Strukturen im Zentrum sind die realisierte elektronische Schaltung. Im Außenbereich sind die goldenen Anschlussleitungen zu erkennen, die die elektrische Verdrahtung zwischen IC und Gehäusekontakten bilden.

Sehen Hillock und Halbleitertechnik

Kupfer

Kupfer (lateinisch Cuprum) ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Cu und der Ordnungszahl 29.

Sehen Hillock und Kupfer

Leerstelle

Schematische Darstellung der Leerstellenbildung an einer Oberfläche Eine Leerstelle (englisch vacancy) ist in der Kristallographie ein Platz in der regelmäßigen Anordnung von Atomen, Ionen oder Molekülen im Kristallgitter, der unbesetzt ist.

Sehen Hillock und Leerstelle

Leitungsbahn

Leitungsbahn ist ein Begriff, der in unterschiedlichen Fachgebieten unterschiedliche Bedeutungen hat.

Sehen Hillock und Leitungsbahn

Schmelzpunkt

Als Schmelztemperatur (vulgo Schmelzpunkt (Smp.), engl. Melting point (Mp.)) bezeichnet man die Temperatur, bei der ein Stoff schmilzt, das heißt vom festen in den flüssigen Aggregatzustand übergeht.

Sehen Hillock und Schmelzpunkt

Silicium

Silicium, oder auch Silizium, ist ein chemisches Element mit dem Symbol Si und der Ordnungszahl 14.

Sehen Hillock und Silicium

Siliciumdioxid

Siliciumdioxid (häufig auch Siliziumdioxid) ist ein Oxid des Siliciums mit der Summenformel SiO2.

Sehen Hillock und Siliciumdioxid

Thermische Spannung (Mechanik)

Thermische Spannungen, exakter thermisch induzierte mechanische Spannungen, entstehen durch Temperaturänderungen im Zusammenhang mit den thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Materialien oder auch Materialkombinationen.

Sehen Hillock und Thermische Spannung (Mechanik)