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Elektromigration

Index Elektromigration

Unter Elektromigration (EM) versteht man einen Materialtransport durch allmähliche Bewegung von Ionen in einem festen Leiter, der durch den elektrischen Strom verursacht wird.

62 Beziehungen: Aktivierungsenergie, Albert Einstein, Aluminium, Anode, Antiblockiersystem, Atom, Blacksche Gleichung, Boltzmann-Konstante, Chemische Gasphasenabscheidung, Diffusion, Divergenz eines Vektorfeldes, Drude-Theorie, Elektrische Stromdichte, Elektrischer Strom, Elektrischer Widerstand, Elektrisches Feld, Elektron, Elementarladung, Faser, Flusssäure, Gitterfehler, Gitterschwingung, Gleichstrom, Hafnium, Hillock, Impuls, Integrationsgrad, Integrierter Schaltkreis, Ion, Journal of Physics and Chemistry of Solids, Kathode, Kelvin, Kraft, Kristallsystem, Kupfer, Ladung (Physik), Ladungsträger (Physik), Leiter (Physik), Leiterbahn, Militär, Millersche Indizes, Ohmsches Gesetz, Passivierung, Phonon, Plasma-unterstütztes Ätzen, Raumfahrt, Skalierung (Mikroelektronik), Spezifischer Widerstand, Stoß (Physik), Substrat (Materialwissenschaft), ..., Svante Arrhenius, Synthese (Chemie), Technologie, Titan (Element), Vanadium, Void (Verbindungstechnik), Walther Nernst, Wärmebehandlung, Wechselstrom, Whisker (Kristallographie), Wirtschaft, Zirconium. Erweitern Sie Index (12 mehr) »

Aktivierungsenergie

Die Aktivierungsenergie, geprägt 1889 von Svante Arrhenius, ist eine energetische Barriere, die bei einer chemischen Reaktion von den Reaktionspartnern überwunden werden muss.

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Albert Einstein

Albert Einsteins Unterschrift Albert Einstein (* 14. März 1879 in Ulm; † 18. April 1955 in Princeton, New Jersey) war ein schweizerisch-US-amerikanischer theoretischer Physiker deutscher Herkunft.

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Aluminium

Aluminium ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Al und der Ordnungszahl 13.

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Anode

Eine Anode (von griechisch ἄνοδος ánodos „Aufstieg“, wörtlich „Weg nach oben“) ist eine Elektrode, die beispielsweise aus einem Vakuum freie Elektronen aufnimmt oder aus einem Elektrolyten unter Elektronenaufnahme Anionen entlädt oder Kationen erzeugt, also Oxidationsreaktionen stattfinden lässt.

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Antiblockiersystem

Das Antiblockiersystem (ABS) ist ein technisches System für mehr Fahrsicherheit und weniger Verschleiß an den Laufflächen der Reifen.

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Atom

kugelsymmetrisch. kovalenten Radius Atome (von „unteilbar“) sind die Bausteine, aus denen alle festen, flüssigen und gasförmigen Stoffe bestehen.

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Blacksche Gleichung

Schema Integrierter Schaltkreis mit elektrischen Leiterbahnen aus Kupfer (Cu). In anderen Fertigungstechnologien kommen aber auch Leiterbahnen, Vias und Bariereschichten aus anderen Materialien, wie Aluminium, Wolfram, Tantal, Tantalnitrid usw. zum Einsatz Void-Bildung durch Elektromigration (EM-Bild) Die blacksche Gleichung gibt die mittlere Ausfallzeit (MTTF) einer Leiterbahn aufgrund von Schädigungen durch Elektromigration in Abhängigkeit von der Temperatur und der elektrischen Stromdichte an.

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Boltzmann-Konstante

Die Boltzmann-Konstante (Formelzeichen k oder k_\mathrm) ist ein Umrechnungsfaktor von absoluter Temperatur in Energie.

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Chemische Gasphasenabscheidung

Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung (CVD), selten auch chemische Dampfphasenabscheidung, versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren bzw.

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Diffusion

Modellhafte Darstellung der Durchmischung zweier Stoffe durch Diffusion Diffusion (lateinisch diffusio, von „ausgießen“, „verstreuen“, „ausbreiten“) ist der ohne äußere Einwirkung eintretende Ausgleich von Konzentrationsunterschieden in Stoffgemischen als natürlich ablaufender physikalischer Prozess aufgrund der Eigenbewegung der beteiligten Teilchen.

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Divergenz eines Vektorfeldes

Die Divergenz eines Vektorfeldes ist ein Skalarfeld, das an jedem Punkt angibt, wie sehr die Vektoren in einer kleinen Umgebung des Punktes auseinanderstreben.

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Drude-Theorie

Schematische Darstellungder Bewegung von Elektronen (blau)in einem Kristallgitter (rot)nach der Drude-Theorie,mit (Erläuterungen im Text):vd: Driftgeschwindigkeit der ElektronenE: Richtung des elektrischen FeldesI: Richtung des elektrischen Stroms Die Drude-Theorie (auch Drude-Modell, nach Paul DrudePaul Drude: Zur Ionentheorie der Metalle. In: Physikalische Zeitschrift. Jg. 1, Nr. 14, 1900,., veröffentlicht um 1900) ist eine klassische Beschreibung des Ladungstransports durch ein externes elektrisches Feld in Metallen oder verallgemeinert durch freie Elektronen in Festkörpern.

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Elektrische Stromdichte

Die elektrische Stromdichte (Formelzeichen \vec J (so in), auch \vec \jmath oder \vec S) kennzeichnet, wie dicht zusammengedrängt ein elektrischer Strom fließt.

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Elektrischer Strom

Der elektrische Strom, oft auch nur Strom, ist eine physikalische Erscheinung aus dem Gebiet der Elektrizitätslehre.

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Elektrischer Widerstand

Der elektrische Widerstand ist in der Elektrotechnik ein Maß dafür, welche elektrische Spannung erforderlich ist, um eine bestimmte elektrische Stromstärke durch einen elektrischen Leiter (Bauelement, Stromkreis) fließen zu lassen.

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Elektrisches Feld

Eine nirgends angeschlossene Leuchtstofflampe in der Nähe einer Hochspannungsleitung leuchtet aufgrund des sich ständig ändernden elektrischen Feldes Das elektrische Feld ist ein physikalisches Feld, das durch die Coulombkraft auf elektrische Ladungen wirkt.

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Elektron

Das Elektron (IPA:,; von „Bernstein“) ist ein negativ geladenes stabiles Elementarteilchen.

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Elementarladung

Die Elementarladung (Symbol: e) ist die kleinste frei existierende elektrische Ladungsmenge.

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Faser

Kohlenstofffasern Eine Faser ist ein lineares, elementares Gebilde, das aus einem Faserstoff besteht.

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Flusssäure

Flusssäure, auch Fluorwasserstoffsäure genannt (zur Namensgebung siehe Fluorit), ist die wässrige Lösung von Fluorwasserstoff (HF).

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Gitterfehler

Als Gitterfehler (auch Gitterdefekt oder Kristall(bau)fehler) wird jede Unregelmäßigkeit in einem sonst periodischen Kristallgitter bezeichnet.

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Gitterschwingung

Gitterschwingung der Wellenlänge \lambda Als Gitterschwingungen werden die in Kristallen sich fortpflanzenden Schwingungen der Teilchen bezeichnet, obwohl es eigentlich Wellen mit jeweiligen Wellenzahlen sind („Gitter“ steht hier für das Kristallgitter).

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Gleichstrom

Arten des Gleichstroms:oben: gemäß Definition, mitunter als „reiner Gleichstrom“ verdeutlicht;darunter: Mischstrom aus Gleichrichtung, auch als „pulsierender Gleichstrom“ bezeichnet Als Gleichstrom wird ein elektrischer Strom bezeichnet, dessen Augenblickswerte der Stromstärke sich zeitlich nicht ändern.

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Hafnium

Hafnium (veraltet: Celtium) ist ein chemisches Element mit dem Symbol Hf und der Ordnungszahl 72.

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Hillock

Ein Hillock (engl., dt. ‚Hügel‘) bezeichnet in der Halbleitertechnik eine Materialanhäufung oder stachelartige Materialvorsprünge von Metall-Leitungsbahnen.

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Impuls

Der Impuls ist eine grundlegende physikalische Größe, die den mechanischen Bewegungszustand eines physikalischen Objekts charakterisiert.

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Integrationsgrad

Der Integrationsgrad bezeichnet die absolute Anzahl Transistoren in einem integrierten Schaltkreis (IC).

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Integrierter Schaltkreis

Funktionseinheiten wie Rechenwerk und Cache des Prozessors zu erkennen. Aktuelle Prozessor-Chips umfassen bei ähnlichen Abmessungen mittlerweile etwa 4000 Mal so viele Transistoren. Ein integrierter Schaltkreis, auch integrierte Schaltung (kurz IC; die Buchstaben werden einzeln gesprochen: bzw. veraltet IS) ist eine auf einem dünnen, meist einige Millimeter großen Plättchen aus Halbleiter-Material aufgebrachte elektronische Schaltung.

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Ion

'''Lithium-Ion Li+''': Den drei rot gefärbten Protonen im übergroß dargestellten Atomkern stehen zwei blau dargestellte Elektronen gegenüber. Ein Ion ist ein elektrisch geladenes Atom oder Molekül.

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Journal of Physics and Chemistry of Solids

Das Journal of Physics and Chemistry of Solids, abgekürzt J. Phys.

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Kathode

Eine Kathode (von altgriechisch κάθοδος káthodos „Rückweg“, wörtlich „Weg nach unten“), auch Katode, ist eine Elektrode, durch die Elektronen einem Raum, meist einem Bauteil, zugeführt werden.

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Kelvin

Das Kelvin (Einheitenzeichen: K) ist die SI-Basiseinheit der thermodynamischen Temperatur und zugleich gesetzliche Temperatureinheit in der EU, der Schweiz und fast allen anderen Ländern.

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Kraft

Kraft ist ein grundlegender Begriff in der Physik.

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Kristallsystem

trikliner Rhodonit monokliner Vivianit orthorhombischer Fayalit tetragonaler Anatas trigonaler Hämatit hexagonaler Beryll kubischer Spessartin Die häufigsten Kristallsysteme der Metalle. Kristallsysteme bieten ein symmetriebezogenes Klassifizierungsschema für kristalline Festkörper.

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Kupfer

Kupfer (lateinisch Cuprum) ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Cu und der Ordnungszahl 29.

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Ladung (Physik)

Eine Ladung, übliches Formelzeichen Q oder q, ist in der Physik eine Größe, die je nach Theoriegebäude der Physik unterschiedlich definiert und interpretiert wird.

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Ladungsträger (Physik)

Ladungsträger sind elektrisch geladene Teilchen, die elektrische Ladung als physikalische Größe und fundamentale Eigenschaft von Materie transportieren.

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Leiter (Physik)

Ein Leiter, auch Konduktor, ist in der Physik ein Stoff, der verschiedene Arten von Energie oder Teilchen zwischen unterschiedlichen Orten transportieren kann.

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Leiterbahn

Leiterbahnen (auch Leitbahnen oder selten Leitungsbahnen) sind in der Mikroelektronik elektrisch leitende Verbindungen mit zweidimensionalem Verlauf, d. h.

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Militär

Ölgemälde von Louis-François Lejeune, 1804). Als Militär (von lateinisch militaris ‚den Kriegsdienst betreffend‘ bzw. miles ‚Soldat‘), mitunter mit Streitkräfte oder Streitmacht gleichgesetzt, werden die mit Kriegswaffen ausgestatteten Träger der Staatsgewalt bezeichnet, die vorwiegend hoheitlich mit der Gewährleistung der äußeren Sicherheit betraut sind und oft auch zum Erreichen weiterer politischer Ziele eingesetzt werden.

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Millersche Indizes

Würfel Die millerschen Indizes der Kristallographie (auch Miller’sche Indizes oder seltener Miller-Indizes) wurden im Jahr 1839 von William Hallowes Miller (1801–1880) vorgeschlagen.

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Ohmsches Gesetz

Das ohmsche Gesetz besagt: Die Stärke des durch ein Objekt fließenden elektrischen Stroms ist proportional der elektrischen Spannung.

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Passivierung

Passivierung bezeichnet in der Oberflächentechnik die spontane Entstehung oder gezielte Erzeugung einer nichtmetallischen Schutzschicht auf einem metallischen Werkstoff, um die Sauerstoffkorrosion des Grundwerkstoffes zu verhindern oder stark zu verlangsamen.

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Phonon

Ein Phonon ist die elementare Anregung (Quant) des elastischen Feldes.

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Plasma-unterstütztes Ätzen

Plasma-unterstütztes Ätzen (physikalisch-chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie.

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Raumfahrt

Buzz Aldrin,zweiter Mensch auf dem Mond (Juli 1969, Apollo 11) Als Raumfahrt (auch Weltraumfahrt, Kosmonautik oder Astronautik genannt) werden Reisen oder Transporte in oder durch den Weltraum bezeichnet.

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Skalierung (Mikroelektronik)

Der Begriff Skalierung (bzw. downscaling) beschreibt im Bereich der Mikroelektronik und Nanoelektronik die Verkleinerung der geometrischen Abmessungen von Bauelementen (in der Regel MOSFETs) und der damit verbundenen Änderung weiterer relevanter Bauelementparameter (siehe Integrationsdichte und Technologieknoten).

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Spezifischer Widerstand

Der spezifische Widerstand (kurz für spezifischer elektrischer Widerstand oder auch Resistivität) ist eine temperaturabhängige Materialkonstante mit dem Formelzeichen \rho (griechisch rho).

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Stoß (Physik)

Ein Stoß ist ein Vorgang, bei dem zwei oder mehr Körper kurzzeitig Kraft aufeinander ausüben.

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Substrat (Materialwissenschaft)

In der Materialwissenschaft ist das Substrat das zu behandelnde Material.

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Svante Arrhenius

Svante Arrhenius (1909) Svante August Arrhenius (* 19. Februar 1859 auf Schloss Vik bei Uppsala; † 2. Oktober 1927 in Stockholm) war ein schwedischer Physiker und Chemiker.

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Synthese (Chemie)

In der Chemie bezeichnet die Synthese (von ‚Zusammenstellung‘) den Vorgang, bei dem aus Elementen eine Verbindung oder aus einfach gebauten Verbindungen ein komplizierter zusammengesetzter neuer Stoff hergestellt – manchmal auch: dargestellt – wird.

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Technologie

Technischen Universität Berlin Technologie im heutigen Sinne ist die Wissenschaft und Lehre von der Technik zur Planung und Herstellung von Industrieprodukten.

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Titan (Element)

Titan ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Ti und der Ordnungszahl 22.

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Vanadium

Vanadium, veraltet auch Vanadin, ist ein chemisches Element mit dem Symbol V und der Ordnungszahl 23.

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Void (Verbindungstechnik)

Als Voids, auch Lunker oder Hohlräume genannt, werden Einschlüsse in der Lötstelle im Bereich der Bauelementeanschlüsse beim Löten bezeichnet.

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Walther Nernst

Nernst im Alter Walther Hermann Nernst (* 25. Juni 1864 in Briesen in Westpreußen; † 18. November 1941 in Zibelle in der Oberlausitz) war ein deutscher Physiker und Chemiker, der zu den Begründern der physikalischen Chemie zählt.

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Wärmebehandlung

Gussstücke nach der Wärmebehandlung Wärmebehandlung ist ein Verfahren zur Behandlung von Werkstücken, bei dem kontrolliert erwärmt und wieder abgekühlt wird, um die Werkstoffeigenschaften zu verändern.

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Wechselstrom

Wechselstrom bezeichnet elektrischen Strom, der seine Richtung (Polung) in regelmäßiger Wiederholung ändert und bei dem sich positive und negative Augenblickswerte so ergänzen, dass der Strom im zeitlichen Mittel null ist.

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Whisker (Kristallographie)

Massive Whiskerbildung auf einem verzinkten Stahlband Whisker (für Schnurrhaar (Vibrisse) oder Backenbart), auch Haarkristalle, sind nadelförmige Einkristalle von wenigen Mikrometern Durchmesser und bis zu mehreren hundert Mikrometern bis mehrere Millimeter Länge, die zum Beispiel aus galvanisch oder pyrolytisch abgeschiedenen metallischen Schichten herauswachsen.

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Wirtschaft

Wirtschaft oder Ökonomie ist die Gesamtheit aller Einrichtungen und Handlungen, die der planvollen Befriedigung der Bedürfnisse dienen.

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Zirconium

Zirconium, häufig auch Zirkonium, ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Zr und der Ordnungszahl 40.

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Leitet hier um:

Elektronenmigration.

AusgehendeEingehende
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