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Waferplattform

Index Waferplattform

Waferplattformen (im englischen „wafer stage“) dienen im Rahmen der Mikro- und Nanostrukturierung der Positionierung und Positionskontrolle des Wafers während der Prozessierung (Fotolithografie).

Inhaltsverzeichnis

  1. 8 Beziehungen: Fotolithografie (Halbleitertechnik), Interferometrie, Luftkissen, Magnetlager, Schraube, Schrittmotor, Stepper (Halbleitertechnik), Wafer.

Fotolithografie (Halbleitertechnik)

Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten.

Sehen Waferplattform und Fotolithografie (Halbleitertechnik)

Interferometrie

Mit Interferometrie werden alle Messmethoden bezeichnet, die die Überlagerung oder Interferenz von Wellen nutzen, um zu messende Größen zu bestimmen.

Sehen Waferplattform und Interferometrie

Luftkissen

Ein Luftkissen wird zum Beispiel beim innerbetrieblichen Transport großer, sperriger und empfindlicher Lasten verwendet.

Sehen Waferplattform und Luftkissen

Magnetlager

Magnetlager (Stator ohne Rotor) Magnetlager ermöglichen die Lagerung ohne Materialkontakt durch magnetische Kräfte.

Sehen Waferplattform und Magnetlager

Schraube

metrischem Teil-Gewinde, Trockenbau-Schraube für Metall-Unterkonstruktionen mit Kreuzschlitz und Bohrspitze, zwei Schlitz-Schrauben mit metrischem Voll-Gewinde eloxierte Aluminiumschraube und eine blaue Titanschraube, beide mit kegligem Kopf und Torx-Antrieb Eine Schraube ist ein zylindrischer oder leicht kegeliger (konischer) Körper, in dessen Oberfläche ein Gewinde eingeschnitten oder -gewalzt ist.

Sehen Waferplattform und Schraube

Schrittmotor

Schrittmotor mit permanentmagnetischem Läufer Ein Schrittmotor ist ein Synchronmotor oder ein Reluktanzmotor, dessen Rotor durch ein rotierendes elektromagnetisches Feld des Stators gedreht wird, wobei hohe Polpaarzahlen und kleine Leistungen typisch sind.

Sehen Waferplattform und Schrittmotor

Stepper (Halbleitertechnik)

Eine 4x-Fotomaske für einen konventionellen Stepper. Pro Belichtungsschritt werden 20 Dies belichtet Ein Stepper (auch Wafer-Stepper) ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw.

Sehen Waferplattform und Stepper (Halbleitertechnik)

Wafer

Wafer von 2 Zoll bis 8 Zoll Als Wafer (für „dünner Keks“ oder „dünne Brotscheibe“) werden in der Mikroelektronik, Photovoltaik und Mikrosystemtechnik kreisrunde oder quadratische, etwa ein Millimeter dicke Scheiben bezeichnet.

Sehen Waferplattform und Wafer