Netzebene

Mit Netzebene wird bezeichnet.

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Inhaltsverzeichnis

1. 1 Beziehung: Metall-katalysiertes nasschemisches Ätzen.

Metall-katalysiertes nasschemisches Ätzen

Querschnittsansicht eines Silizium-Wafers nach metall-katalysiertem nasschemischem Ätzen (MACE). Die Auflösungsrate von Silizium ist durch Silber-Partikel auf der Oberfläche lokal erhöht. Dadurch „sinken“ diese Nanopartikel in den Wafer hinein und hinterlassen dabei geradlinige Poren Das Metall-katalysierte nasschemische Ätzen (MACE) ist eine nasschemische Ätzmethode zur Strukturierung von Halbleitersubstraten.

Sehen Netzebene und Metall-katalysiertes nasschemisches Ätzen

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