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2 Beziehungen: Reinraum, Reinraum-Implementierung.
Reinraum
Fotolithografie. Reinraum im Bau für die Mikroelektronikproduktion vor der Installation der Fertigungsgeräte. Die Reinraum-Rasterdecke mit Filter-Ventilatoreinheiten überspannt hier ca. 6.000 Quadratmeter und erzeugt eine Reinraumklasse von ca. ISO 3. Eingangsbereich eines Reinraums Reinraumkabine für die Präzisionsmesstechnik Ein Rein- oder Reinstraum ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen sehr gering gehalten wird.
Sehen Cleanroom und Reinraum
Reinraum-Implementierung
Eine mit Hilfe von Reinraum-Design bzw.

