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52 Beziehungen: Anisotropie, Aromaten, Ausbeute (Halbleitertechnik), Bindungsenergie (Chemie), Bor, Bromwasserstoff, Chemischer Reaktor, Chlor, Chlorwasserstoff, Elektron, Emission (Umwelt), Exotherme Reaktion, Flüssigkristallanzeige, Fluor, Fluorchlorkohlenwasserstoffe, Fotolack, Halbleiter, Halbleitertechnik, Hexafluorethan, In situ, Inertgas, Integrierter Schaltkreis, Ion, Ionisation, Ionisierungsenergie, Isotropie, Kohlenwasserstoffe, Kupfer, Massenproduktion, Mikrosystemtechnik, Mikrowellen, Molekül, Octafluorcyclobutan, Octafluorpropan, Partialdruck, Perfluorcarbone, Plasma (Physik), Plasmaätzen, Quelle und Senke, Radikal (Chemie), Rekombination (Physik), Sauerstoff, Schwefelhexafluorid, Solarzelle, Stickstofftrifluorid, Tetrafluormethan, Treibhausgas, Treibhauspotential, Trockenätzen, Ultraviolettstrahlung, ..., Verweilzeit (technischer Prozess), Wolfram. Erweitern Sie Index (2 mehr) »
Anisotropie
Anisotropie (von „un-“, isos „gleich“ und tropos „Drehung, Richtung“) ist die Richtungsabhängigkeit einer Eigenschaft oder eines Vorgangs.
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Aromaten
Aromatische Verbindungen, kurz auch Aromaten, sind eine Stoffklasse in der organischen Chemie.
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Ausbeute (Halbleitertechnik)
Die Ausbeute bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (ICs) dient als Maßzahl zur Bewertung des Produktionsprozesses bzw.
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Bindungsenergie (Chemie)
Als (mittlere) Bindungsenergie oder Bindungsenthalpie (auch Bindungsdissoziationsenthalpie, Bindungsspaltungsenergie, Atomisierungsenthalpie, Dissoziationsenergie oder Valenzenergie) wird in der Chemie die Menge an Energie bezeichnet, die aufgewendet werden muss, um die kovalente Bindung zwischen zwei Atomen eines Moleküls vollständig zu spalten.
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Bor
Bor ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol B und der Ordnungszahl 5.
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Bromwasserstoff
Bromwasserstoff ist ein farbloses Gas, welches an feuchter Luft Nebel bildet, weil sich die Verbindung aus Brom und Wasserstoff gut in Wasser unter Bildung von Bromwasserstoffsäure löst.
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Chemischer Reaktor
Ein chemischer Reaktor ist ein verfahrenstechnischer Apparat, in dem mittels chemischer Reaktionen aus Rohstoffen oder Vorprodukten (im Allgemeinen wertvollere) Produkte hergestellt werden.
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Chlor
Chlor ist ein chemisches Element mit dem Symbol Cl und der Ordnungszahl 17.
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Chlorwasserstoff
Chlorwasserstoff (Summenformel HCl, systematisch auch als Wasserstoffchlorid oder Hydrogenchlorid bezeichnet) ist ein farbloses, stechend riechendes Gas, das sich sehr leicht in Wasser löst.
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Elektron
Das Elektron (IPA:,; von „Bernstein“) ist ein negativ geladenes stabiles Elementarteilchen.
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Emission (Umwelt)
Flugzeugedw.com: https://www.dw.com/de/was-richten-flugzeugemissionen-an/a-15748640 ''Was richten Flugzeugemissionen an?'' (12. Juni 2012) und Kohlekraftwerke emittieren Kohlendioxid und andere gasförmige Schadstoffe sowie Ruß in die Erdatmosphäre. Abwasser läuft in ein Gewässer. Auf diesem Weg kann es zur Emission von Schadstoffen in die Umwelt kommen. Durch Straßenverkehr werden Abgase und Lärm emittiert. Kreuzfahrtschiffe stoßen gesundheitsschädliche Feinstaub- und Stickoxidemissionen aus, die weit über den Grenzwerten des Straßenverkehrs liegen. Emission (von), im Deutschen Austrag oder Ausstoß, bedeutet allgemein Aussendung von Teilchen, Stoffen, (Schall-)Wellen oder Strahlung in die Umwelt.
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Exotherme Reaktion
Eine chemische Reaktion ist exotherm (von „außen, außerhalb“ und thermós „warm, heiß“), wenn sie mehr Energie freisetzt, als ihr zunächst als Aktivierungsenergie zugeführt wurde.
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Flüssigkristallanzeige
Tablet-PCs Flüssigkristallbildschirm auf der Rückseite einer Digitalkamera Ziffernanzeige und Skalenanzeige auf der nicht selbst leuchtenden Flüssigkristallanzeige eines Digitalmultimeters Interna eines handelsüblichen TFT-Monitors. Leuchtröhren mit Diffusorelementen, TFT-Folie mit Ansteuerplatine Full-HD-Flüssigkristallmonitor Eine Flüssigkristallanzeige oder ein Flüssigkristallbildschirm (kurz: LCD oder LC-Display) ist eine Anzeige oder ein Bildschirm (engl. display), dessen Funktion darauf beruht, dass Flüssigkristalle die Polarisationsrichtung von Licht beeinflussen, wenn ein bestimmtes Maß an elektrischer Spannung angelegt wird.
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Fluor
Fluor ist ein chemisches Element mit dem Symbol F und der Ordnungszahl 9.
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Fluorchlorkohlenwasserstoffe
Trichlorfluormethan (Freon-11, CFC-11 oder R-11), Beispiel eines Fluorchlorkohlenwasserstoffs. Fluorchlorkohlenwasserstoffe (FCKW, chemische Nomenklatur nach IUPAC: Chlorfluorkohlenwasserstoffe, CFKW, oder auch FreoneVollhardt, K. Peter C.; Schore, Neil E.; Butenschön, Holger: Organische Chemie. 5. Aufl. New York: John Wiley & Sons, 2011, S. 133.) sind eine umfangreiche chemische Gruppe niedermolekularer organischer Verbindungen, die als Treibgase, Kältemittel oder Lösemittel verwendet werden.
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Fotolack
Fotolacke werden bei der fotolithografischen Strukturierung verwendet, insbesondere in der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik für die Produktion von Strukturen im Mikro- und Submikrometerbereich sowie bei der Leiterplattenherstellung.
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Halbleiter
Halbleiter sind Festkörper, deren elektrische Leitfähigkeit zwischen der von elektrischen Leitern (>104 S/cm) und der von Nichtleitern (−8 S/cm) liegt.
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Halbleitertechnik
Integrierter Schaltkreis (IC). Das Chip-Gehäuse wurde geöffnet und ermöglicht den Blick auf den eigentlichen Halbleiter. Die erkennbaren Strukturen im Zentrum sind die realisierte elektronische Schaltung. Im Außenbereich sind die goldenen Anschlussleitungen zu erkennen, die die elektrische Verdrahtung zwischen IC und Gehäusekontakten bilden. Die Halbleitertechnik (HLT) ist ein technischer Fachbereich, der sich mit Entwurf und Fertigung von Produkten auf der Basis von Halbleitermaterialien, vor allem mit denen für mikroelektronische Baugruppen, beispielsweise integrierte Schaltungen, beschäftigt.
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Hexafluorethan
Hexafluorethan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Fluorkohlenwasserstoffe und ist als aliphatisches gesättigtes Fluorkohlenwasserstoff ein Perfluorcarbon.
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In situ
In situ ist ein Fachbegriff in verschiedenen Bereichen, der z. B.
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Inertgas
Als Inertgase bezeichnet man Gase, die sehr reaktionsträge (inert) sind, sich also an nur wenigen chemischen Reaktionen beteiligen.
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Integrierter Schaltkreis
Funktionseinheiten wie Rechenwerk und Cache des Prozessors zu erkennen. Aktuelle Prozessor-Chips umfassen bei ähnlichen Abmessungen mittlerweile etwa 4000 Mal so viele Transistoren. Ein integrierter Schaltkreis, auch integrierte Schaltung (kurz IC; die Buchstaben werden einzeln gesprochen: bzw. veraltet IS) ist eine auf einem dünnen, meist einige Millimeter großen Plättchen aus Halbleiter-Material aufgebrachte elektronische Schaltung.
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Ion
'''Lithium-Ion Li+''': Den drei rot gefärbten Protonen im übergroß dargestellten Atomkern stehen zwei blau dargestellte Elektronen gegenüber. Ein Ion ist ein elektrisch geladenes Atom oder Molekül.
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Ionisation
Stoßionisation durch ein Elektron Ionisation heißt jeder Vorgang, bei dem aus einem Atom oder Molekül ein oder mehrere Elektronen entfernt werden, sodass das Atom oder Molekül als positiv geladenes Ion (Kation) zurückbleibt.
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Ionisierungsenergie
Die Ionisierungsenergie (auch Ionisationsenergie, Ionisierungspotential, Ionisierungsenthalpie) ist die Energie, die benötigt wird, um ein in der Gasphase befindliches Atom oder Molekül zu ionisieren, d. h., um ein Elektron vom Atom oder Molekül zu trennen.
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Isotropie
Isotropie (von „gleich“ und tropos „Drehung, Richtung“) ist die Unabhängigkeit einer Eigenschaft von der Richtung.
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Kohlenwasserstoffe
Kalottenmodelle einiger Kohlenwasserstoffe in unterschiedlicher Vergrößerung. Von oben nach unten: Ethan, Toluol, Methan, Ethen, Benzol, Cyclohexan, Decan. Die Kohlenwasserstoffe sind eine Stoffgruppe chemischer Verbindungen, die nur aus Kohlenstoff und Wasserstoff bestehen.
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Kupfer
Kupfer (lateinisch Cuprum) ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol Cu und der Ordnungszahl 29.
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Massenproduktion
Massenproduktion (oder Massenfertigung) ist in der Wirtschaft ein Fertigungstyp, bei dem die Produktion und der Vertrieb von großen Mengen an Produkten oder Dienstleistungen stattfindet.
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Mikrosystemtechnik
Mikroheizung Die Mikrosystemtechnik (MST), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Lehre, Forschung & Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen.
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Mikrowellen
Mikrowellen ist ein Trivialname für elektromagnetische Wellen mit einer Frequenz von 1 bis 300 GHz, was einer Wellenlänge von ca.
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Molekül
Bindungen. Moleküle (älter auch: Molekel; von) sind „im weiten Sinn“ zwei- oder mehratomige Teilchen, die durch chemische Bindungen zusammengehalten werden und wenigstens so lange stabil sind, dass sie z. B.
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Octafluorcyclobutan
Octafluorcyclobutan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der organischen Fluorverbindungen.
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Octafluorpropan
Octafluorpropan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der aliphatischen, gesättigten Halogenkohlenwasserstoffe (FKW) und ein Vertreter der Perfluorcarbone.
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Partialdruck
Partialdruck bezeichnet den Teildruck einer einzelnen Komponente oder Fraktion in einem (idealen) Gasgemisch.
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Perfluorcarbone
Perfluorhexan, ein Perfluorcarbon Verschiedene Darstellungen von Perfluordecalin Becherglas mit zwei geschichteten Flüssigkeiten. Oben eine Schicht gefärbten Wassers und drunter das dichtere Perfluorheptan; ein Goldfisch und eine Krabbe können die Phasengrenze nicht durchbrechen – im Gegensatz zu Münzen, die auf den Boden des Glases absinken. Perfluorcarbone (PFC), auch perfluorierte Kohlenwasserstoffe oder Fluorcarbone genannt, sind vollständig mit Fluor substituierte Kohlenstoffverbindungen (d. h. sie enthalten keine Wasserstoff-Atome mehr).
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Plasma (Physik)
Plasma in einer Plasmalampe Magnetisch verformtes Plasma Plasma der Sonnenatmosphäre Blitze Polarlicht Atmosphärischer Plasmajet zum Plasmaschneiden mittels GHz-Plasma Discovery während STS-42 Plasma (von) ist in der Physik ein Teilchengemisch aus Ionen, freien Elektronen und meist auch neutralen Atomen oder Molekülen.
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Plasmaätzen
Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes Trockenätz-Verfahren, das besonders in der Halbleiter-, Mikrosystem- und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird.
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Quelle und Senke
Quelle und Senke Quelle und Senke sind in der Mathematik und Physik Begriffe aus der Vektoranalysis, der Potentialtheorie und der Feldtheorie.
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Radikal (Chemie)
Als Radikale bezeichnet man in der Chemie Atome oder Moleküle mit mindestens einem ungepaarten Valenzelektron.
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Rekombination (Physik)
Rekombination ist in der Physik die neutralisierende Vereinigung elektrisch positiver und negativer Ladungsträger (Ionen, Elektronen).
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Sauerstoff
Sauerstoff (historisch auch Oxygenium, kurz Oxygen, genannt; gebildet aus „scharf, spitz, sauer“ und -gen, zusammen „Säureerzeuger, Säurebildner“) ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol O.
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Schwefelhexafluorid
Schwefelhexafluorid ist eine anorganische chemische Verbindung aus den Elementen Schwefel und Fluor mit der Summenformel SF6.
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Solarzelle
Polykristalline Silicium-Solarzellen in einem Solarmodul Eine Solarzelle (fachsprachlich auch photovoltaische Zelle genannt) ist ein elektrisches Bauelement, das Strahlungsenergie, in der Regel Sonnenlicht, direkt in elektrische Energie umwandelt.
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Stickstofftrifluorid
Stickstofftrifluorid ist eine chemische Verbindung, die zur Gruppe der Stickstoffhalogenide gehört.
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Tetrafluormethan
Tetrafluormethan (auch Tetrafluorkohlenstoff) ist eine chemische Verbindung aus der Reihe der Fluorkohlenwasserstoffe.
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Treibhausgas
Entwicklung des Anteils von Treibhausgasen in der Erdatmosphäre seit 1978 bzw. 1979 Verteilung des Wasserdampfs in der Erdatmosphäre an einem bestimmten Tag. Die Wasserdampfmenge der gesamten Luftsäule über der Erdoberfläche wird als Dicke einer daraus kondensierbaren Wasserschicht in cm angegeben. Anteil verschiedener Treibhausgas-Emissionen nach menschlichen Verursachern im Jahr 2000. Große Grafik: alle Treibhausgase Treibhausgase (THG) sind Spurengase, die zum Treibhauseffekt eines Planeten beitragen.
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Treibhauspotential
Das (relative) Treibhauspotential (auch Treibhauspotenzial; oder greenhouse warming potential, GWP) einer chemischen Verbindung ist eine Maßzahl für ihren relativen Beitrag zum Treibhauseffekt, also ihre mittlere Erwärmungswirkung der Erdatmosphäre über einen bestimmten Zeitraum (in der Regel 100 Jahre: GWP100).
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Trockenätzen
Unter dem Begriff Trockenätzen fasst man in der Halbleitertechnologie und in der Mikrosystemtechnik eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren zusammen, die nicht auf nasschemischen Reaktionen (wie nasschemisches Ätzen, chemisch-mechanisches Polieren) basieren.
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Ultraviolettstrahlung
Ultraviolettstrahlung, kurz UV, UV-Strahlung, UV-Licht oder Schwarzlicht, ist elektromagnetische Strahlung im optischen Frequenzbereich (Licht) mit kürzeren Wellenlängen als das für den Menschen sichtbare Licht.
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Verweilzeit (technischer Prozess)
Bei einem Prozess ist die Verweilzeit \tau (griechisches kleines Tau) die Zeit, in der z. B.
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Wolfram
Wolfram ist ein chemisches Element mit dem Elementsymbol W und der Ordnungszahl 74.
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Leitet hier um:
Plasma Etching, Plasma-Ätzen, RIE-Prozess.
