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Mask Aligner

Index Mask Aligner

Zwei Mask-Aligner unter photochemisch unwirksamer Beleuchtung („Gelblicht“) Mask Aligner (dt. etwa Maskenpositionierer, Maskenausrichter) sind Vorrichtungen oder Geräte, die zur exakten Positionierung von Masken für die Fotolithografie in der Mikrochipherstellung benutzt werden.

10 Beziehungen: Elektrooptische Entfernungsmessung, Fotolithografie (Halbleitertechnik), Fotomaske, Grafikprozessor, Integrierter Schaltkreis, Mikrosystem (Technik), Prozessor, Stepper (Halbleitertechnik), Substrat (Materialwissenschaft), Wafer.

Elektrooptische Entfernungsmessung

Eine Laserpistole wendet die optische Abstandsmessung an. Die elektrooptische Entfernungsmessung (auch Abstands-, Distanzmessung) oder Laserentfernungsmessung ist eine elektronische Entfernungsmessung (EDM) anhand einer Laufzeitmessung, der Phasenlagemessung oder der Lasertriangulation von Licht, zumeist Laser.

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Fotolithografie (Halbleitertechnik)

Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten.

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Fotomaske

Eine Fotomaske Eine Fotomaske in einer Fotomaskenbox Detail einer Chrom-Fotomaske Fotomasken (deshalb im Deutschen auch als Retikel bezeichnet) sind Projektionsvorlagen, deren Hauptanwendung die fotolithografische Strukturierung bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen oder Mikrosystemen ist.

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Grafikprozessor

Schema mit Funktionseinheiten eines modernen Grafikprozessors. Für DIF siehe Video Display Controller. Nvidia GeForce 3 Ein Grafikprozessor (kurz GPU; dieses teilweise lehnübersetzt Grafikeinheit und seltener auch Video-Einheit oder englisch video processing unit sowie visual processing unit, kurz VPU genannt) ist ein auf die Berechnung von Grafiken spezialisierter und optimierter Prozessor für Computer, Spielkonsolen und Smartphones.

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Integrierter Schaltkreis

Funktionseinheiten wie Rechenwerk und Cache des Prozessors zu erkennen. Aktuelle Prozessor-Chips umfassen bei ähnlichen Abmessungen mittlerweile etwa 4000 Mal so viele Transistoren. Ein integrierter Schaltkreis, auch integrierte Schaltung (kurz IC; die Buchstaben werden einzeln gesprochen: bzw. veraltet IS) ist eine auf einem dünnen, meist einige Millimeter großen Plättchen aus Halbleiter-Material aufgebrachte elektronische Schaltung.

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Mikrosystem (Technik)

Ein Mikrosystem (oder mikro-elektro-mechanisches System MEMS) ist ein miniaturisiertes Gerät, eine Baugruppe oder ein Bauteil, dessen Komponenten kleinste Abmessungen im Bereich von 1 μm (Mikrometer) haben und als System zusammenwirken. Milbe und einem Mikrosystem. Ohne Skala. Üblicherweise besteht ein Mikrosystem aus einem oder mehreren Sensoren, Aktoren und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. Chip. Dabei bewegt sich die Größe der einzelnen Komponenten im Bereich von wenigen Mikrometern. Geräte und Systeme, die weitere Größenordnungen darunter liegen, bezeichnen sich als Nanosysteme oder im Quantenbereich als Spintronik. Die Mikrosystemtechnik ist die Lehre von der Entwicklung der Mikrosysteme, von den Techniken, Methoden und Prozessen zu deren Realisierung und Produktion.

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Prozessor

Die''“ eines Intel 80486DX2 Ein Computer-Prozessor ist ein (meist stark verkleinertes und meist frei) programmierbares Rechenwerk, also eine elektronische Schaltung, die gemäß übergebenen Befehlen Aktionen ausführt, wie andere elektronische Schaltungen und Mechanismen zu steuern.

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Stepper (Halbleitertechnik)

Eine 4x-Fotomaske für einen konventionellen Stepper. Pro Belichtungsschritt werden 20 Dies belichtet Ein Stepper (auch Wafer-Stepper) ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw.

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Substrat (Materialwissenschaft)

In der Materialwissenschaft ist das Substrat das zu behandelnde Material.

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Wafer

Wafer von 2 Zoll bis 8 Zoll Als Wafer (für „dünner Keks“ oder „dünne Brotscheibe“) werden in der Mikroelektronik, Photovoltaik und Mikrosystemtechnik kreisrunde oder quadratische, etwa ein Millimeter dicke Scheiben bezeichnet.

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Leitet hier um:

Maskenpositionierung.

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